Temescal FC-4400 Deposition System

最大スループットを誇るリフトオフ装置

Temescalの FC-4400は、最大のハイスループットを誇るリフトオフプロセス専用装置です。装置は、高性能イービーム・ソースを使用し、150mmウェーハ30枚を同時にプロセスする機能を備えています

ロードロック付きの44インチ(1,118mm) x 44インチ(1,118mm) x 24インチ(597mm)のプロセスチャンバーは、最大2台の16インチのクライオポンプで短時間に排気されます。2台のクライオポンプを装備した場合、この大容積のプロセスチャンバーは、15分でプロセス真空圧の10E-7Torrに到達します。ウェーハを交換する際は、ソースチャンバーは専用の10インチクライオポンプにより、プロセス時の真空圧を維持します。

主な機能:

  • プロセスチャンバーサイズ:  44インチ(1,118mm) x 44インチ(1,118mm) x 24インチ(597mm)
  • ソーストレイ径:648mm
  • 標準ソース基板間距離: 864mm
  • オプションの延長カラーを使用した場合のソース基板間距離:1,067mm
  • プロセスとソースチャンバーにクライオポンプを装備
  • オプションでプロセスチャンバーに2台目のクライオポンプを追加可能