Temescal FC-3800 Deposition System

リフトオフ、ステップカバレッジ、両面蒸着等、様々な用途に最適な装置

FC-3800は、150mmウェーハのリフトオフ又はステップカバレッジプロセスを、高速に実行します。一つのバッチとして150mmウェーハを、リフトオフでは25枚、ステップカバレッジでは36枚を同時に実行します。384インチ(965mm) x 38インチ(965mm) x 28インチ(711mm)のプロセスチャンバーは、16インチのクライオポンプで排気します。ウェーハを交換する際は、ソースチャンバーは専用の10インチクライオポンプにより、プロセス時の真空圧を維持します。

容易な保守作業

オフセットしたポンプポート、ヒンジ付きドアーパネル、振り出せるソーストレイは、Temescal装置の保守作業を容易にする機構です。オフセット付きポンプ機構は、ポンプ本体へのパーティクルの侵入を最小限に抑え、予期せぬポンプ故障を防止します。ヒンジ付きドアーパネルは、プロセスチャンバーとポンプへのアクセスを容易にします。電動で降下し振り出されるソーストレイは、蒸着材料の供給、清掃、保守作業を容易にします。循環水のマニュウホールド、高真空バルブのベローズ/シールド、その他のポンプシステム・コンポーネントも、簡素化され独立しています。

主な機能:

  • プロセスチャンバーサイズ:  38インチ(965mm) x 38インチ(9658mm) x 28インチ(711mm)
  • ソーストレイ径:648mm
  • 標準ソース基板間距離: 864mm
  • オプションの延長カラーを使用した場合のソース基板間距離:1,067mm
  • プロセスとソースチャンバーにクライオポンプを装備