Temescal FC/BJD2000 Bell Jar Deposition System

ベルジャータイプ装置:小規模生産と研究開発用装置

FC-2000 とBJD-2000 は、如何なる用途にも対応するため、数多くのアクセサリーの取り付けが可能な、多様性を持った装置です。効率的な運用とクリーンルーム対応用に設計された装置は、容易な操作性と最大の融通性を備えています。FC-2000 はロードロック機構を備え、ウェーハ交換時に真空を維持し早いプロセスサイクルを実現します。BJD-2000 は、ロードロック機構を備えていません。

容易な保守作業

Temescal 製のベルジャーシステムは、オフセットしたポンプポート、ヒンジ付きドアーパネル、スイングアウトするソーストレイ等により、高いメンテナンス性を実現しています。オフセットも持ったポンプポートは、ポンプ内へのゴミの吸引を最小化し、不慮のダウンタイムを軽減するよう設計されています。ヒンジ付きドアーパネルを開き、ポンプシステムと真空チャンバーにアクセスします。自動的に降下しスイングアウトするソーストレイ機能を使用し、メンテナンスや蒸着材料の供給が容易に行えます。冷却水マニフォールド、ブローシールドの高真空バルブ及びその他のバルブへのアクセスも用意です。

主な機能:

  • BJD-2000はロードロック無し、FC -2000はロードロック付き
  • ソーストレイには、複数のイービーム・ソースと抵抗加熱源を装備可能
  • プロセスチャンバーサイズ:  28インチ(711mm) x 28インチ(7,11mm) x 28インチ(711mm)
  • 標準ソース基板間距離: 495mm
  • オプションの延長カラーを使用した場合のソース基板間距離:698mm
  • FC-2800又はBDC-2800へのアップグレードが可能