Systems

Temescalの最新の蒸着装置ファミリーは、小規模生産又は研究開発用途から大規模生産ライン用途まで幅広いユーザ仕様に最適な装置をご提供しています。リフトオフ又はステップカバレッジプロセスに最適な装置は、クリーンルーム仕様で全てのご要求にお応えできるアクセサリーを備えています。

当社の装置は、装置立ち上げはもとより装置運用時に、最適な柔軟性と効率を発揮するよう設計されています。Temescal社の装置制御システムによる完全自動なプロセスは、使い易さと同時に最大のスループットを両立しました。装置制御システムは、プロセスと真空制御を完全に統合し、レシピによりダイアフラムを介してポンプとベントを制御し、自動的なポンプ、ベント、及プロセスランとしてのサイクルの再開を、独立したレシピプロセスとして実行します。

 
大規模生産用ハスループット装置
中規模生産及び大口径ウェーハ用研究開発用装置
ベルジャータイプ装置:小規模生産と研究開発用装置
 
詳細:
ロードロック機構付き、最大スループットを誇るリフトオフ装置
リフトオフ、ステップカバレッジ、両面蒸着等様々な用途に最適な装置
中規模生産及び大口径ウェーハ用研究開発用装置
ベルジャータイプ装置:小規模生産と研究開発用装置
ウェーハサイズ:
100mm ~ 150mm
100mm ~ 200mm
75mm ~ 200 mm
50mm ~ 150 mm
ソース-ウェーハ間距離:
864mm 又は 1,067mm
864mm 又は 965mm
864mm 又は 1,067mm
495mm 又は 699mm