Single Pocket E-Guns

シングルポケットと超真空蒸着用イービーム・ソース

Temescalのシングルポケット。イービーム・ソースは、ビーム径の調整機構、ビームスイープ機能、容易なフィラメントとエミッターの交換構造、多様なクルーシブル容量、ソースへの蒸着材料の堆積を最小化する平坦な偏向ヨーク機構を備えています。クルーシブルの水冷機構は、蒸着材料の溶解部と堅い部分の界面をしっかりと維持し、クルーシブルの銅の溶解を防止します

Temescalの超真空蒸着は、超真空に適用可能な単一ポケットを持つスーパーソースと組み合わせたイービーム・ソースを使用して行われます

適用可能なオプション

標準真空環境

  • SFIH-270-1, 最大10kWまで印加可能
  • SFIH-270-2, 最大12kWまで印加可能
  • SFIH-270-3, 最大20kWまで印加可能

超真空環境

  • UHVC-270-1, 最大10kWまで印加可能
  • UHVC-270-2, 最大12kWまで印加可能
  • UHVC-270-3, 最大20kWまで印加可能