真空シール

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特徴

真空シール

ハーメティックシーリングが可能

フェローシールは、シャフトの廻りを『磁性流体』で取り囲まれています。これによりガス・蒸気・霧・微細粒子に対してハーメティックシールを形成します。

測定不能な漏れを防止

シールされた雰囲気からの漏れは、ヘリウムリークディテクタの最高感度(当社Heリークディテクタにて1×10-10torr・l/sec以下)でテストしても検出されません。

ロングライフ

「流体Oリング」は、不活性で安定した蒸気圧の低い磁性流体により形成されています。10年以上もの間、メンテナンスフリーで運転中の機器も多くあります。

高信頼性

フェローシールは、シンプルな磁気回路と低蒸発量の磁性流体で構成されています。ベアリングの寿命がシールの寿命といわれる理由です。

汚染なし

フェローシールは、劣化しないため、汚染粒子によるシステム機能の低下は起こり得ません。加えて低い蒸気圧のフェローフルイドは、10-8torrの超高圧真空においてさえ、真空度を完璧に保持します。

最適トルク伝達

シャフト1本でトルク伝達が行えます。これにより、100%のトルク伝達とバックラッシュのない同相動力伝達が行えます。

優れた高速回転能力

フェローシールは、非接触型シールであり、また、磁性流体の粘性抵抗は低く、動作は非常になめらかです。そのため、高速回転時においても安定した能力を発揮します。

ご購入までの流れ

当社では、あらゆる真空加工装置に対応する高品質なシールをご提供しています。フェローシールはソリッドシャフト・ホローシャフト・マルチプロセスの各タイプをご用意。また、フラット面・ねじ付・穴付などカスタマイズ加工を行うことで、お客様の製造環境に最適なシールをご提供しています。

ご購入までの流れ

スペック

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